Produktionstechnik
Einsatz von Plasma beim Bonden, Aktivieren und Ätzen
Inola Kopic, Lukas Hiendlmeier, Fulvia Del Duca und George Al Boustani vom Lehrstuhl für Neuroelektronik an der Technischen Universität München (TUM) haben drei verschiedene Anwendungsmöglichkeiten des Handgeräts piezobrush® PZ3 und der zugehörigen Modulen Standard und Nearfield untersucht. Dazu gehören die Haftverbindung zwischen Glas und Polydimethylsiloxane (PDMS), die Oberflächenaktivierung von Polyimid Weiterlesen…