Optische Technologien
Mit patentierter Schwingungsmesstechnologie: Polytec prüft verkapselte MEMS als Dienstleistung
Für die präzise Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen hat sich die Laser-Doppler-Vibrometrie (LDV) etabliert. Da sie aber typischerweise mit sichtbaren Wellenlängen arbeitet, kann sie die Siliziumverkapselung von MEMS nicht durchdringen und damit verkapselte MEMS auch nicht direkt untersuchen. Polytec bietet die patentierte Lösung: Die Charakterisierung mit Lichtquellen Weiterlesen…






