Optische Technologien
LZH und Beneq: Erfolgreiche Kooperation für ultraschnelle ALD-Beschichtungen
Schnelligkeit, hohe Uniformität und hervorragende Beschichtungsqualität – diese Eigenschaften gelten nicht nur für Verfahren der physikalischen Gasphasenabscheidung, sondern auch für die ALD-Technologie (engl. atomic layer deposition, ALD). Das finnische Unternehmen Beneq und das Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) haben gemeinsam eine Spatial ALD-Anlage entwickelt, mit der sich komplex geformte Optiken Weiterlesen…