SlimFocus SFS-D90150

Slim Focus Objektiv-Versteller werden zwischen Revolver und Objektiv eingeschraubt. Der Raum um das Objektiv bleibt vollständig frei. Es stehen für alle gängigen Gewinde Adapter zur Verfügung. Mit Hilfe der zugehörigen Ansteuerelektronik wird das Objektiv um 150 µm relativ zur Probe verfahren. Es können über den internen Sensor definierte Stellwege oder Rasterkurven gestellt werden. Oder: der Abstand zu einem Punkt auf der Probenoberfläche kann während des XY-Rasterns konstant gehalten werden, so dass der Sensor des SlimFocus die relative Höhenänderung über der Probenfläche ausgibt. Die Positionsauflösung beträgt weniger als 1 nm RMS, die Wiederholgenauigkeit 15 nm mit der zugehörigen nanoFaktur-Elektronik.

Über die nanoFaktur GmbH

Piezosensorik und -aktorik haben ab der 2. Hälfte des 20. Jahrhunderts einen technologischen Siegeszug angetreten. Piezokeramik bietet die hauptsächlichen Vorteile Dynamik, Präzision und Effektivität. Piezoaktoren treiben die Justagen in der Halbleitertechnik an – mit dem Resultat sub-nanometer genauer Strukturen. Sie werden millionenfach als Ventiltriebe, z.B. in der automobilen Einspritztechnik, eingesetzt. Ebenfalls im Automobil dienen Ultraschallsensoren auf Piezobasis als Parkhilfe.


Bei der nanoFaktur arbeiten die Spezialisten für alles zu den Themen Piezo und Nanopositionierung. Unser Team freut sich auf Ihre Aufgabenstellung.

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